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RMS 设备程序管理系统

时间:2019-08-20 15:47:19 点击:

       RMS系统实现设备Recipe的自动上传、下载、比对、审批、Golden/Unique、历史版本管理等功能;RMS系统可以降低人工操作对Recipe参数的出错率,提高设备生产良率及人工作业效率。

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